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主动隔振平台

大负载主动气浮桌腿型光学平台隔振器(MAPS series)桌面型/ 桌子型 主动气浮 隔振光学平台(ME40 series)光学平台暗室/洁净室(XRM/XC、XM series) 显示全部
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大负载主动气浮桌腿型光学平台隔振器(MAPS series)

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  • MAPS 系列产品—凝缩了最新除振技术的精华, 小巧玲珑的MAPS 系列能应对全自由度的振动。

    所属类别:位移台/偏转镜/光学平台 » 主动隔振平台

    所属品牌:日本Meiritz公司

    姓名:许正阳(Gary)

    电话:130 2016 6031

    邮箱:zhengyang-xu@auniontech.com


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    产品简介

    明立精机的MAPS 系列产品的除振系统是在精巧的形状中加入垂直与水平用的气压驱动器而构成的组装型除振装置。使用1 4 个的话,对应全自由度的振动,能发挥出优秀的除振性能、制振性能、定位性能等。






    产品特点

    1. MAPS 可以消除被动除振的困难频段的振动

    2. 标准的MAPS 可除振10 吨以上的设备

    3. 搭载工件等移动装置也不会摇摆

    4. MAPS 具有优秀的精确定位及精密校平性能

    5. MAPS 是小型易操作的组合型系列

    6. MAPS 是构成精密设备的一个重要部分


    应用领域

    半导体制造,激光加工


    主要规格和参数


    附注



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