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精密定位平台/扫描台

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高精度压电马达角位移台(偏摆台)

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  • 高精度压电马达角位移台

    所属类别:位移台/偏转镜/隔振台 » 精密定位平台/扫描台

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    姓名:李工(William)

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  • 高精度角位移台

     

    角位移台又称为摆动滑台、α轴摆动平台等,是用在在小角度内精确旋转物体的平台,它提供的不是线性运动而是绕着空间固定一点进行旋转。

    AU-SGO系列压电马达角位移台由压电马达驱动,使用高精度交叉滚珠轴承,可提供极高的分辨率,并且行程可达到±5°,非常适用于微米或纳米定位。该平台可提供不同的旋转半径。主要包括以下产品。


    AUSGO-60.5

    AUSGO-77.5

    AUSGO-93.5

    Picture

    Travel   [°]

    ±5

    ±5

    ±5

    Max.   Normal Force [N]

    5

    5

    5

    Center   of Rotation [mm]

     (above working platform)

    60.5  

    77.5  

    93.5   

    Closed-Loop   Resolution [µrad]

    0.03

    0.03

    0.03

    Closed-Loop   Repeatability, Full Stroke MCS2 [µrad]

    0.12

    0.12

    0.12

    此外可以将两个合适半径的平台组合在一起组成欧拉角位移台,此外还可以与线性平台组合组成多维运动系统。 另外该平台还可以用于不同的环境下,例如真空和超高真空环境。

    应用实例:

    1、  具有六个自由度的定位系统(X;Y;Z;a;b;Zθ

    角位移台可以与我们的其它运动模块组合组装为多维运动系统,如下图所示,与两个线性平台和升降台组装成XYZ平台,在XYZ系统的顶部安装了两个测角仪SGO-60.5和SGO-77.5,以及一个SR-5014旋转台,由于外部尺寸和安装孔匹配,三个旋转阶段具有相同的旋转中心(由绿色球体表示)。


    主要特点

    l  高精度(0.03µrad)

    l  可在真空和非磁环境





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