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应力双折射测量系统

二维应力成像仪超精密光学应力测量设备Hinds液晶面板应力分布测量系统非球面透镜应力双折射测量系统光伏硅锭应力测量仪 显示全部
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非球面透镜应力双折射测量系统

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  • 不规则非球面光学元件应力分布测量系统(光刻机透镜测量等)

    所属类别:光学检测设备 » 应力双折射测量系统

    所属品牌:美国Hinds Instruments公司

    产品负责人:

    姓名:田工(Allen)

    电话:185 0166 2513

    邮箱:jinquan-tian@auniontech.com


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  • 不规则非球面光学元件应力分布测量系统

    (光刻机透镜测量等)

    不规则非球面光学元件(光刻机透镜等)应力分布测量系统


    利用光弹调制器技术,Hinds 公司的应力双折射测量系统可以在深紫外(193nm)波段进行应力双折射探测。针对特定材料制作(氟化钙)和特定形状(非球面透镜)有着独特的技术解决方案。


    应力双折射测量系统,非球面透镜应力双折射测量,应力椭偏仪,应力椭偏测量


    Hinds 公司的不规则非球面光学元件应力分布测量系统(应力双折射测量系统)通过对光的调制解调可以测出待测光学元件中的双折射大小和方向,这些数据同时也表示了应力的大小和方向。Hinds 公司这套不规则非球面光学元件应力分布测量系统独创的倾斜,多角度入射扫描技术可以保证对非球面不规则的光学元件(光刻机透镜等)有着完美的扫描测量解决方案。



    产品特点:
    1. 全套内置软件自动扫描成图
    2. 非球面扫描(手动宏程序)
    3. 应力大小及方向分布探测成图
    4. 定制各种尺寸形状样品台
    5. 最低探测强度:皮瓦


    产品参数:
    1. 可见光波段探测延迟范围:0 to 300+nm
    2. 深紫外波段探测延迟范围:0 to 90+nm
    3. 可见光波段应力探测精度:0.001nm / ±0.03 (up to 3nm, 1% thereafter)
    4. 深紫外波段应力探测精度:0.001nm / ± 0.08 nm (up to 4nm, 2% thereafter)




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