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激光干涉仪

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高分辨率激光干涉仪

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  • 高分辨率激光干涉仪 便携式、高分辨率、高动态范围激光干涉仪!

    所属类别:光学检测设备 » 激光干涉仪

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    产品负责人:

    姓名:陈工(Jack)

    电话:186 2116 1680

    邮箱:changying-chen@auniontech.com


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  • 高分辨率激光干涉仪


    便携式、高分辨率、高动态范围激光干涉仪!


    超分辨剪切干涉仪(High-resolution Interferometer)是一款便携式、高灵敏度、高精度的波前分析仪。超分辨剪切干涉仪基于波前分析的四波剪切干涉技术,与传统干涉仪相比较具有结构紧凑,使用方便,无需标准件,优秀的检测稳定性,直接测量任意的波前、高分辨率(300x400采样点),3D显示等优点。


    关键词:干涉仪、激光干涉仪、球面干涉仪、激光平面干涉仪、干涉光刻、传函仪、白光干涉仪、Zygo、波前分析仪、波前传感器、迈克尔逊干涉仪、便携式干涉仪、光学传函仪


    超分辨激光干涉仪基于便携式、高灵敏度、高精度波前分析仪。该激光干涉仪采用四波剪切干涉技术,与传统干涉仪相比较具有结构紧凑,使用方便,无需标准件,优秀的检测稳定性,直接测量任意的波前、高分辨率(300x400采样点)、激光波长覆盖400-1100nm、消色差、高动态范围(500um)等优点。

     

    超分辨剪切干涉仪可用于激光波前检测、激光强度检测、等离子体密度检测、透镜检测、高功率激光自适应光刻机检测、精密光学元器件检测、光学系统装调、镜头模组检测、传递函数MTF)检测等。法国Phasics公司超分辨剪切干涉仪并可实时检测为客户提供优化的数据支持。


    产品特点:

    1、直接测量、无需标准件



    图一、检测光路



    2、高灵敏度(是普通白光干涉仪的8.4倍)、对振动不敏感


    图二 与传统的干涉仪检测结果对比


    3、三维立体显示


    图三、波前三维检测视图


    4、实时显示泽尼克系数


    图四、多阶泽尼克显示界面


    5、传递函数(MTF)检测


    图五、传递函数检测界面


    干涉仪应用领域:


    Ø 激光光束性能、波前畸变、M^2、强度等的检测

    Ø 红外透镜检测

    Ø 激光、天文、显微、眼科等复杂自适应光学系统波前像差检测

    Ø 光刻机物镜检测

    Ø 大口径高精度光学元器件检测

    Ø 透镜、镜头模组检测

    Ø 传递函数测量

    Ø 等离子体密度检测

    Ø 高功率激光自适应




    产品系列:



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