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精密定位平台/扫描台

亚纳米/纳米平移台(压电直推型,0-1500μm行程)纳米平移台(压电马达型,10-1500mm行程)亚微米平移台(直线/步进电机,20-1000mm行程)显微镜载物台(电动/压电)超小型平移台(亚微米,15mm,已集成电路)超低振动亚微米平移台(气体轴承,1500mm,10-1000KG)大行程二维电控载物台压电旋转平台快速反射镜皮米精度位移测量仪纳米级电容位移传感器 显示全部
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二维压电平移台

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  • 二维压电平移台--高精度亚纳米压电陶瓷平移台 --- 高精度亚纳米二维压电平移台!

    所属类别:位移台/偏转镜/光学平台 » 精密定位平台/扫描台

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    姓名:李工(William)

    电话:156 1809 2363(微信同号)

    邮箱:wentao-li@auniontech.com


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  • 二维压电平移台--高精度亚纳米压电陶瓷平移台

    高精度亚纳米二维压电平移台!

    上海竞博游戏推出的二维压电平移台采用压电陶瓷直推,二维压电平移台以柔性铰链为导向使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点,采用硅位移传感器,二维压电平移台相比于传统的电容式位移传感器,硅传感器使平移台拥有更高的精度和线性度以及较低的底噪。二维压电平移台的精度可以达到亚纳米,底噪低至10pm。


    压电平移台,压电陶瓷平移台,压电陶瓷定位台,压电陶瓷微动台,压电陶瓷扫描台,压电精密定位系统,二维压电平移台

    竞博游戏电竞博彩app推出的压电平移台是为了满足超精密定位应用的需求。该平移台采用压电陶瓷驱动,以柔性铰链为导向使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。采用硅高精度位移传感器,与电容位移传感器相比拥有更高的精度、线性度和非常低的底噪。由于其具有较高的精度、线性度和较低的底噪等优点,被广泛的应用于超分辨率显微镜,光学捕获和原子力显微镜等领域。


    上海竞博游戏电竞博彩app推出的二维压电平移台主要有以下几款产品。

    ①超快二维压电平移台

    超快二维压电平移台有两款AU-LFHS2和AU-LTHS2

    AU-LFHS2平移台是一款超快的亚纳米定位平台,可以在X, Y两个方向上提供75μm的行程。在平移台的中心拥有一个边长为66mm的方形通光孔,如果需要该平移台可以与Z轴运动的一维平移台集成为三维运动平台。AU-LFHS2是一款快速的位移平台,其两个轴的谐振频率可达到2000Hz,使用高速控制器控制时,其相应时间可达到2ms。

    AU-LTHS2也是一款超快的平移台,两个轴的谐振频率可达到1000Hz,行程可达到75μm,在压电陶瓷平移台的中心拥有一个83*66mm的长方形孔径,该尺寸刚好可以把载玻片放置在该平台上。AU-LTHS2二维压电陶瓷平移台,厚度只有20mm,因此十分容易集成到倒置显微镜上。

    这两款平移台均可配合低分辨率的平移台使用形成高精度平移台。

                 
                            

           图1 AU-LFHS2平移台                                                          图2. AU-LTHS2平移台

     

    ②超薄二维压电平移台

    AU-Bio是一款超薄的二维压电平移台,厚度只有15.6mm,它可以集成在任何倒置显微镜上,平移台中心拥有一个54*83.6mm矩形通光孔。

    AU-LT2也是一款超薄的压电平移台,可提供100/200/300μm不同行程的平移台,由于其超薄的厚度使其可以与各种类型的倒置显微镜配合使用。此外该平台中心拥有一个66*66mm的方形孔径。

    这两款超薄平移台的材质为Al,如果应用需要也提供不胀钢材质的平移台,这样平移台会拥有更好的热稳定性。
                  
                           

                 图3. AU-Bio平移台                                                          图4. AU-LT2 平移台



    ③超紧凑二维压电平移台

    AU-C-2.100是一款超紧凑的亚纳米闭环控制平移台,该平移台两轴可提供100μm的行程,但是其体积只有48.5*48.5*30.3 mm,其紧凑的设计使其是许多应用的理想工具,例如:光纤对准、双光子聚合和激光写入应用等。

       AU-LF2也是一款紧凑的平移台,可提供100/200/300μm 三种不同的行程。其中心有一个66*66 mm的方形孔径,非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用。

                      
                         

                    图5.AU-C-2.100平移台                                           图6.AU-LF2平移台


    产品特点
     高分辨率(0.01nm)
     高速度,自振频率可达2000Hz
     采用硅传感技术
     超低底噪
     柔性铰链导向

     

     主要应用
      纳米刻蚀
      超分辨显微镜
      共聚焦显微镜
      自适应光学
      粒子追踪

     
     产品参数:


    Unit

    AU-LF2

    AU-Bio2

    AU-LT2

    AU-C2.100

    AU-LTHS2

    AU-LFHS2

    Range of motion

    mm

    100

    200

    300

    100

    200

    300

    100

    200

    300

    100

    75

    75


    Resolution

    nm

    0.1

    0.2

    0.3

    0.1

    0.2

    0.3

    0.1

    0.2

    0.3

    0.1

    0.075

    0.075


    Typical noise floor

    nm

    0.01

    0.02

    0.03

    0.01

    0.02

    0.03

    0.01

    0.02

    0.03

    0.01

    0.0075

    0.0075


    Full range repeatability

    nm

    0.2

    0.4

    0.6

    0.2

    0.4

    0.6

    0.2

    0.4

    0.6

    0.2

    0.15

    0.15


    Linearization (typical)


    0.02%

    Resonant frequency

    Hz

    500/300

    400/250

    300/200

    500/400

    400/350

    300/250

    500/400

    400/350

    300/250

    400/250

    1500/1000

    3000/2000


    Stiffness

    N/mm

    0.6/0.35

    0.5/0.3

    0.4/0.25

    0.6/0.5

    0.5/0.4

    0.4/0.3

    0.6/0.5

    0.5/0.4

    0.4/0.3

    400/250

    2/2

    4/3


    Maximum load :



    horizontal use

    Kg

    1

    0.5

    0.5

    1

    vertical use

    Kg

    0.5

    0.1

    0.3

    0.5

    Sensor


    Silicon HR sensor

    Material


    Al

    Cable length

    m

    2

    Controller


    Standard

     

    High speed





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