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精密定位平台/扫描台

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亚纳米/纳米平移台(压电直推型,0-1500μm行程)

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  • 高精度亚纳米压电平移台!

    所属类别:位移台/偏转镜/光学平台 » 精密定位平台/扫描台

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    产品负责人:

    姓名:李工(William)

    电话:156 1809 2363(微信同号)

    邮箱:wentao-li@auniontech.com


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  • 高精度亚纳米压电平移台


    压电平移台是以压电陶瓷为驱动,以柔性铰链为导向,通过压电陶瓷的形变精确控制平台的移动。该平台可提供X、XY及XYZ等不同维度平台,行程最大可达1500微米。采用硅高精度位移传感器闭环反馈,使平台拥有毫秒级响应速度,亚纳米级的分辨率,并且拥有非常低的底噪。被广泛应用于,超分辨显微、光镊系统、原子力显微镜、显微扫描、光路调整、纳米操控技术、CCD 图像处理、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。 

    竞博游戏电竞博彩app推出的压电平台按维度可以提供以下产品:

    1)单轴压电平台

    单轴压电平台是可以在单个维度上提供精确定位的产品,主要包含X压电平台、Z轴压电平台、物镜扫描台、一维快反镜。

    ①X轴压电平台

    一维平台可提供不同行程、中空/非中空等不同类型的产品

    型号

    AUHS1

    AUHS1H

    AUC-X.100

    AULF1

    AUSLR

    产品图片


    行程(μm)

    10/30/50/70/100

    30/50/70/100

    100

    100/200/300

    300/500/8001500

    分辨率(nm)

    0.01/0.03/0.05/0.07/0.1

    0.03/0.05/0.07/0.1

    0.1

    0.1/0.2/0.3

    0.3/0.5/0.8/1.5

    重复精度(全行程)nm

    0.02/0.06/0.1/0.14/0.2

    0.06/0.1/0.14/0.2

    0.2

    0.2/0.4/0.6

    0.6/1/1.6/3

    本底噪声nm

    0.001/0.003/0.005/0.007/0.01

    0.003/0.005/0.007/0.01

    0.01

    0.01/0.02/0.03

    0.03/0.05/0.08/0.15

    传感器

    硅传感器闭环反馈

    ②Z轴压电平台

    型号

    Z-stage

    C-Z.100

    Z-insert

    Z-insert-K-TYPE

    Z-insert-INC

    LT-Z

    产品图片

    行程(μm)

    5/10/25/50

    100

    100/200/300/500

    100/200/300

    100/200/300/500

    100/200/300/500

    分辨率(nm)

    0.005/0.01/0.025/0.05

    0.1

    0.1/0.2/0.3/0.5

    0.1/0.2/0.3

    0.1/0.2/0.3/0.5

    0.1/0.2/0.3/0.5

    重复精度(nm)

    0.01/0.02/0.05/0.1

    0.2

    0.2/0.4/0.6/1.0

    0.2/0.4/0.6

    0.2/0.4/0.6/1.0

    0.2/0.4/0.6/1.0

    本底噪声nm

    0.0005/0.001/0.0025/0.005

    0.01

    0.01/0.02/0.03/0.05

    0.01/0.02/0.03

    0.01/0.02/0.03/0.05

    0.01/0.02/0.03/0.05

    传感器

    硅传感器闭环反馈

    ③物镜扫描台

    型号

    FOCHS.100

    FOC

    产品图片

    行程(μm)

    100

    100/200/300

    分辨率(nm)

    0.1

    0.1/0.2/0.3

    全行程重复精度(nm)

    0.2

    0.2/0.4/0.6

    本底噪声nm

    0.01

    0.01/0.02/0.03

    传感器

    硅传感器闭环反馈

    ④一维快反镜

    型号

    TT1.5

    产品图片

    偏转角度(mrad)

    5/10

    分辨率(μrad)

    0.005/0.01

    全行程重复精度(μrad)

    0.01/0.02

    本底噪声(μrad)

    0.0005/0.001

    传感器

    硅传感器闭环反馈

    2)两轴压电平台

    两轴压电平台可提供两个维度的平移和偏转主要包括XY压电平台和二维快反镜

    ①XY压电平台

    型号

    LFHS2

    LTHS2

    C2.100

    LFS2

    LT2

    BIO2

    LF2

    MWP2.800

    产品图片

    行程(μm)

    30/50/75

    30/50/75

    100

    100

    100/200/300

    100/200/300

    100/200/300

    800

    分辨率(nm)

    0.03/0.05/0.075

    0.03/0.05/0.075

    0.1

    0.1

    0.1/0.2/0.3

    0.1/0.2/0.3

    0.1/0.2/0.3

    0.8

    重复精度(全行程)nm

    0.06/0.1/0.15

    0.06/0.1/0.15

    0.2

    0.2

    0.2/0.4/0.6

    0.2/0.4/0.6

    0.2/0.4/0.6

    1.6

    本底噪声nm

    0.003/0.005/0.0075

    0.003/0.005/0.0075

    0.01

    0.01

    0.01/0.02/0.03

    0.01/0.02/0.03

    0.01/0.02/0.03

    0.08

    传感器

    硅传感器闭环反馈

    ②二维快反镜

    型号

    产品图片

    偏转角度(mrad)

    5/10

    分辨率(μrad)

    0.005/0.01

    全行程重复精度(μrad)

    0.01/0.02

    本底噪声(μrad)

    0.0005/0.001

    传感器

    硅传感器闭环反馈

    3)三轴压电平台

    产品图片

    描述

    行程

    LT3是一款三维平台,可提供100,200300微米的行程。平台使用硅传感器厚度只有20mm,该平台很容易集成到倒置显微镜中

    X-Y-Z
      100μm
      200μm
      300μm


    BIO3是一款超低剖面的三维定位平台可集成在任何倒置显微镜中。载玻片可以放置在其矩形孔中

    X-Y-Z
      100μm
      200μm
      300μm


    LF3是紧凑型3轴压电平台,具有66mm方孔,X轴和Y轴行程范围为100μm200μm300μmZ轴行程为50μm   建议要求小尺寸和通光孔时使用。

    X-Y
      100μm
      200μm
      300μm

    Z

    50μm

    LFS3是一款3轴纳米定位平台,XY行程为100μmZ行程20μm,通光孔径40 x 40 mm

    X-Y
      100μm
      Z

    20μm

    LFHS3是一款高速三轴纳米定位台,谐振频率高于2k,通光孔径达66x66mm,可实现高速扫描,阶跃时间可达2ms

    X-Y
      75μm

    Z

    50μm


    LTTHS3是一款超薄高速三维定位平台,可配合任何倒置显微镜使用,可实现高速扫描

    X-Y
      75μm

    Z

    50μm

    C3.100是一款紧凑型平台,是光纤对准、双光子聚合、激光直写等应用的理想产品

    X-Y-Z
      100μm
     
     

    CUBE3是一款3轴紧凑型纳米定位平台,可沿XYZ提供100200μm的运动。其紧凑的设计使其成为光纤对准,双光子聚合,激光写入等应用的的理想工具

    X-Y-Z
      100μm
      200μm



    SPM3平台是一个3轴超高速纳米定位平台,沿XY提供75μm的行程,两个轴上的共振频率高于2kHz

     SPM3平台的Z轴具有高达50μm的行程范围,谐振频率高达12.5kHz,当与高功率控制器一起使用时,SPM3.5Z轴的阶跃响应时间可以小于毫秒。因此,SPM平台专为要求苛刻的计量应用而设计,例如原子力显微镜。

    X-Y
      75μm

    Z

    5μm

    10μm

    25μm

    50μm



    SPM3LR压电平台是3维定位平台,X轴和Y轴的位移为   100μm200μm300μm

    Z轴部分的行程最高可达50μm并具有高达12.5kHz的谐振频率。 SPM3LR.xxx.05Z轴的阶跃响应时间可以小于毫秒。

    因此,SPM3LR载物台设计用于要求苛刻的计量应用,例如原子力显微镜。

    X-Y
      100μm

    200μm

    300μm

    Z

    5μm

    10μm

    25μm

    50μm


    主要特点


    主要应用

    高分辨率(0.01nm
    大行程1500μm
    高速度,谐振频率可达7000Hz
    采用硅传感技术

    超低底噪
    柔性铰链导向

     


    纳米刻蚀

    超分辨显微镜

    原子力显微镜
    干涉测量
    高速聚焦
    自适应光学
    超分辨显微镜
    粒子追踪

     



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