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精密定位平台/扫描台

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超低振动亚微米平移台(气体轴承,1500mm,10-1000KG)

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  • 大行程,高重复精度气体轴承位移台!

    所属类别:位移台/偏转镜/光学平台 » 精密定位平台/扫描台

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    姓名:李工(William)

    电话:156 1809 2363

    邮箱:wentao-li@auniontech.com


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  • 空气轴承位移平台

    可根据客户要求定制不同类型的位移平台


    LT系列位移平台采用经过特殊设计的空气轴承,该轴承分别对刚度、承载能力和刚度进行了优化。与传统的轴承相比,采用气体为润滑剂,因此所有运动都是无接触的,因此在整个使用寿命之内,设备的性能保持不变,并且无需进行特殊维护。此外位移平台采用直线电机直接驱动,无须螺杆或齿轮进行传动实现了非常平滑的无干扰的高精度的运动。通过使用天然大理石为平移台移动的桌面,可以实现非常高的重复定位精度。从而使位移平台拥有极低的俯仰、偏摆、滚动、偏航和线性误差。

    上海竞博游戏电竞博彩app设备有限公司推出的空气轴承位移平台可提供从200mm-1500mm不同行程的平台,在可提供大行程的同时,精度可达到300nm,平移台拥有优异的分辨率,重复精度可达到100nm。

    此外提供高精度的复杂运动和定位方案:

    提供不同应用中需要的定位平台、控制器和相关软件


    Ø整体解决方案

     Ø定制化解决方案 

    Ø复杂的多轴与并联运动系统 

    Ø超精密空气与机械轴承

    Ø软件集成:: LABVIEW, Tango, Epics……


    产品特点:

    l   优异的重复精度

    l   超大行程

    l   采用空气轴承,无需维护

    l   可按客户要求进行定制

     

    主要应用

    l   高性能扫描

    l   光学检测系统

    l   超精密研磨和切削

    l   光伏系统

    l   医疗系统

    l   同步辐射或X射线

    l   激光加工

    l   半导体行业

    l   晶体处理


    产品参数:

     


    Units

    LS100

    LS200

    LS300

    LS400

    LS500

    LS1000

    LS1500

    travel

    mm

    100

    200

    300

    400

    500

    1000

    1500

    load capacity

    kg

    >65

    >65

    >65

    >65

    >65

    >65

    >65

    accuracy

    μm

    ±0.3

    ±0.5

    ±0.5

    ±0.5

    ±0.5

    ±1.0

    ±1.0

    repeatability

    μm

    ±0.1

    ±0.15

    ±0.15

    ±0.2

    ±0.2

    ±0.4

    ±0.4

    flatness

    μm

    ±0.2

    ±0.4

    ±0.5

    ±1

    ±1.5

    ±3

    ±5

    pitch

    μrad

    ±4

    ±8

    ±12

    ±13

    ±14

    ±29

    ±39

    roll

    μrad

    ±4

    ±8

    ±12

    ±13

    ±14

    ±29

    ±39

    yaw

    μrad

    ±4

    ±8

    ±12

    ±13

    ±14

    ±29

    ±39

     



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